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自動光學檢查(英文:Automated Optical Inspection,簡稱AOI),為工業自動化有效的檢測方法,使用機器視覺做為檢測標準技術,大量應用於LCD/TFT、電晶體與PCB製程上。
AOI技術領域非常廣泛,廣義的AOI設備為結合光學感測系統、訊號處理系統及分析軟體,應用層面可包括宇宙探測、航空、衛星遙測、生物醫學、工業生產品質檢測、指紋比對、機器人控制、多媒體技術。
狹義的AOI設備則指目前工業上急需使用,在IC及一般電子業、機械工具/自動化機械、電機/電子工業、金屬鋼鐵業、食品加工/包裝業、紡織皮革工業、汽車工業、建築材料、保全/監視系統等。
[编辑] 基本架構
自動光學檢測設備組成
- CCD Camera(檢測鏡頭)
- 光源(上下光源打光)
- Review Camera(複檢確認鏡頭)
- 系統主機
- 瑕疵檢查主機
- 集線器(Hub)
- 伺服驅動機構
- PLC或PC Base控制主機
[编辑] 發展趨勢
- 完整行程須在60 秒內(甚至更短)
- 影像解析度不斷提高
- 可檢測出週邊線路(以往只需要檢測面板內部)
- 可儲存面板的瑕疵影像
- 自動分類瑕疵
- 可輸出分析表格與圖形
- 可檢出Mura瑕疵功能
- 可處理修補瑕疵功能
[编辑] 領導廠商
自動光學檢測設備的主要領導廠商有
- Orbotech
- Takano
- Kubotek
- V Technology
[编辑] 參考文獻
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- 五十嵐大作,小田切章,久保哲夫, “The Latext Optical
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